정의
설비대수	BPIT 6호기 (1대), BATCH 8,9,10,11 호기 (4대)
기술력	1. 화합물층 깊이별 선택상 형성 기술보유 2. BATCH 설비에 Kn 제어 시스템을 융합시켜 생산성 증대